技术编号:11142504
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用电子显微镜将宽视野区域以高画质且高速拍摄的电子显微镜装置及使用该电子显微镜装置的拍摄方法。背景技术电子显微镜与光学显微镜相比分辨率非常高,被广泛地用于鲜明地观察被观察对象的微细的构造。在电子显微镜中,将电子束向对象试料照射,用检测器检测从对象试料释放的、或者透过对象试料的粒子(与照射的电子同种或不同种的电子、或电磁波、光子),从而取得对象试料的图像。电子显微镜的观察对象遍布材料、半导体、食品、生物、医疗领域等多个分支。在使用电子显微镜的检查或解析中,有想要确认大范围中的构造物的整体像...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。