技术编号:11146960
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在制造有机发光二极体(OrganicLight-EmittingDiode,简称OLED)蒸镀过程中使用的高精度金属掩膜装置以其制造方法。背景技术金属掩膜板(mask)作为AMOLED蒸镀中的重要治具起到了关键作用。金属掩膜板通常包括掩膜主体和框架。掩膜主体的制作一般是在一电铸基板上通过电铸的方式形成的。当掩膜主体电铸完成后,需要将掩膜主体与电铸基板分离进行后续张网等步骤。目前,将掩膜主体与电铸基板分离可以使用手工分离以及剥离机分离两种方式,但无论是哪种方式进行分离都会出现如下问题:1...
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