技术编号：11147001
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及磁电复合功能材料领域，具体涉及一种磁电复合薄膜的制备方法。背景技术近二十多来，随着薄膜制备技术的发展和电子产品及其元器件小型化和多功能化需求的不断提高，铁电薄膜的制备技术也得到了快速的发展。铁电薄膜与半导体技术相结合，使得其在铁电存储器件、晶体场效应管、声表面波器件等铁电集成微电子领域有广泛的应用前景。多铁性材料是指同时具有两种或两种以上初级铁性(铁电(反铁电)、铁磁(反铁磁)、铁弹)的材料，而磁与电之间可以产生耦合，即由磁场诱导产生电极化或电场诱导产生磁极化的现象。通过这种耦合效应可...
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