技术编号：11147095
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于真空镀膜技术领域，特别涉及一种纳米镀膜设备行星回转货架装置。背景技术等离子镀膜作为提升材料表面性能有效方法被广泛应用于航空航天、汽车制造、机械重工和五金工具制造等领域。在等离子镀膜过程中，需要将镀膜设备腔室内空气抽出维持低压力状态，同时需要通入工艺气体和化学单体气体用于反应生成聚合物涂层。由于整个等离子镀膜过程中需要持续抽气，且抽气口、进气口、加料口位置是固定的，因此化学单体气体有向抽气口方向扩散的趋势，导致化学单体气体在加料口区域和扩散方向区域的密度相对较大。这就出现了这些区域放置的...
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