技术编号:11147617
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及晶体生长炉温场结构领域,特别涉及一种提高钼片保温屏使用寿命的装配结构及其装配方法。背景技术钼片保温屏作为温场的重要组成部分,起着保温、调温的作用,由于现有使用的钼片保温屏均是通过多块钼片相互叠加在一起形成的,这种结构在高温状态下容易产生变形,变形后会影响坩埚和钼片保温屏的贴合度,导致晶体生长的保温效果下降,对晶体(产品)的内部质量产生非常坏的影响。因此,变形后的钼片保温屏就必须更换,据使用统计,现有使用的钼片保温屏在使用5次左右后就产生了较大的变形,就必须对其进行更换,为此,有必要改进...
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