技术编号：11152484
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光通信领域，尤其涉及一种光波导。背景技术硅光技术是以绝缘体上硅(Silicon-on-insulator，SOI)作为基础材料，利用互补金属氧化物半导体(ComplementaryMetalOxideSemiconductor，CMOS)工艺进行制作光芯片，实现光电信号转化的技术。如图1所示，SOI由衬底(Substrate)、埋氧层(BuriedOxide，Box)和波导层(Waveguidelayer)构成，其中衬底的材料为Si，埋氧层的材料为SiO2，波导层的材料为Si。由于Si...
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