技术编号：11152940
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体加工技术领域，具体地讲，涉及一种曝光设备。背景技术液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)由于具有画面稳定、图像逼真、消除辐射、节省空间以及节省能耗等优点，现已占据了平面显示领域的主导地位。TFT-LCD(ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay，薄膜晶体管液晶显示器)是目前主流的液晶显示器，而薄膜晶体管阵列基板(TFT-ThinFilmTransistor)以及彩膜基板是其显示面板的主要构成部件。阵列基板以及彩膜基板的...
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