一种由器件版图生成剖面图的方法与制造工艺技术资料下载

技术编号:11155698

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本发明涉及集成电路版图设计领域,尤其涉及一种由器件版图生成剖面图的方法。背景技术在集成电路版图设计中,由若干种不同颜色的图形代表不同的工艺层组合叠加形成器件,器件的版图图形是平面图形,不是立体图形,给没有半导体器件技术背景的设计师在判断器件的结构方面存在困扰,一般设计师依据检查文件对版图设计进行DRC、LVS检查,保证设计规则和电路的正确性。一旦有一些复杂的器件图形,而又由于检查文件的原因而未检查出来,很容易造成设计错误,导致流片的失败。中国专利CN103578930A“多重图形化的掩膜层的形成...
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