技术编号:11157837
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及麦克风领域,具体而言,涉及麦克风系统和放大电路。背景技术微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)是一种在半导体制造技术的基础上发展起来的、融合了光刻、腐蚀、薄膜、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术而实现的高科技电子机械系统。MEMS系统一般包括一个用于将其他物理信号转换为电信号的微机械敏感结构及其相关电路。为满足人民群众日益增长的物质文化需求,MEMS系统的体积、成本、灵敏度、线性度等指标也在不断地优化提高。MEMS麦克风因其体积小、适...
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