技术编号:11159552
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。用于流化床反应器的感应加热器系统相关申请的交叉引用本申请要求2014年6月11日提交的美国非临时专利申请No.14/301,968的优先权,由此所述申请的全部公开内容通过引用而整体地并入于此。技术领域本发明总体涉及一种流化床反应器,并且更具体地涉及用于流化床反应器的感应加热的系统和方法。背景技术多晶硅是一种用于生产包括例如半导体晶片在内的很多产品的原材料,所述半导体晶片用于集成电路和光伏(即太阳能)电池。多晶硅一般通过化学气相沉积机制生产,其中,硅在流化床反应器中从可热分解的硅化合物沉积到硅种子...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。