技术编号：11159622
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及医学诊断超声成像，并且尤其涉及使用电容式微加工超声换能器(CMUT)的超声探头。背景技术用于医学成像的超声换能器具有导致产生高质量诊断图像的各种特性。其中包括宽的带宽以及在超声频率下对于低水平声学信号的高灵敏度。传统上，具有这些特性并且因而用于超声换能器的压电材料由PZT和PVDF材料制成，其中PZT是最优选的。然而，陶瓷PZT材料需要包括明显不同且复杂的划切(dicing)、匹配层粘结、填料、电镀和互连的制造工艺并且需要大量的处理，所有这些会导致低于预期的换能器堆叠单元产量。而且，这...
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