技术编号:11160507
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施方式涉及放射线检测器及其制造方法。背景技术作为放射线检测器的一例,有X射线检测器。X射线检测器中,X射线通过闪烁层转换为可见光即荧光,通过采用非晶质硅(a-Si)光电二极管或者CCD(ChargeCoupledDevice:电荷耦合器件)等光电转换元件将该荧光转换为信号电荷,取得X射线图像。另外,为了提高荧光的利用效率,改善灵敏度特性,有时在闪烁层上进一步设置反射层。这里,为了抑制由水蒸气等引起的分辨率特性的劣化,闪烁层和反射层必须与外部气氛隔离。特别地,闪烁层由CsI(碘化铯):T...
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