包括三维图案的指纹感测装置的制造方法技术资料下载

技术编号:11160531

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本发明涉及指纹感测装置。特别地,本发明涉及指纹感测装置中的表面图案。背景技术随着用于身份验证的生物计量装置的发展,特别是指纹感测装置的发展,已经导致装置被制造得更小、更便宜和更节能,对于这种装置的可能应用在不断增加。特别地,由于小的形状因数、相对有利的成本/性能因数和高的用户接受度,指纹感测已经越来越多地应用于例如消费类电子装置中。基于用于提供指纹感测元件和辅助逻辑电路的CMOS技术而构建的电容指纹感测装置越来越受欢迎,因为这种感测装置可以做得小并且节能,同时能够以高精度识别指纹。因此,电容指纹...
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