光耦合器的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11160555

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光耦合器相关申请的交叉引用本申请要求2014年7月18日提交的名称为“光耦合器”的美国专利申请No.14/335,756的优先权,该美国专利申请的全部公开内容通过引用整体结合于此。技术领域本公开的实施例总地涉及光电子的领域,并且更具体地涉及用于为平面光子电路(例如在绝缘体上硅(SOI)晶片上制造的硅光子电路)提供垂直的光耦合器的技术和配置。背景技术基于用于有成本效率的光电子集成的平面光子电路,硅光子经常被视为最受欢迎和成功的技术平台之一。诸如激光器、调制器和检测器的基于光波导的光子器件通常在绝缘...
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