技术编号：11160575
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光学元件的倾斜互为参考的相关申请本申请尤其根据35U.S.C.§119要求保护于2014年8月5日提交的德国专利申请102014215452.9的利用和优先权。所述德国专利申请的公开内容明确地包含在本申请中。背景技术本发明涉及一种光学单元以及一种用于支撑光学单元的方法。本发明能够与任意的光学装置或者光学成像方法相关地使用。本发明尤其能够与在制造微电子电路时应用的微光刻或者用于微光刻的测量系统相关地使用。尤其在微光刻领域，除了应用以尽可能高的精度设计的部件还要求在运行中尽可能准确地按照预设的额定值...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。