波导型光学元件的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11160614

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本发明涉及一种具备光波导和用于控制在该光波导中传播的光波的控制电极的波导型光学元件,尤其涉及一种能够在较宽的频率范围内进行动作的宽频带波导型光学元件。背景技术近年来,在光通信或光测量领域中,多使用在具有电光效应的基板上形成有光波导的光调制器等波导型光学元件。波导型光学元件一般具备上述光波导和用于控制在该光波导内传播的光波的控制电极。作为这种波导型光学元件,例如广泛使用将作为强电介质结晶的铌酸锂(LiNbO3)(也称为“LN”)用于基板的马赫-曾德尔型光调制器。马赫-曾德尔型光调制器具备马赫-曾德...
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