有机TFT阵列检测装置及其方法与制造工艺技术资料下载

技术编号:11161482

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本发明涉及一种有机半导体薄膜晶体管(TFT:ThinFilmTransistor)阵列的检测装置及其方法,特别是涉及可检测出阵列中的断线缺陷及能评价各TFT元件的输出特性、响应速度的偏差的检测装置及其方法。背景技术作为所谓的液晶显示器、有机EL显示器的图像显示装置,采用了使用有有机半导体的薄膜晶体管阵列(以下,称作TFT阵列)。所述TFT阵列与图像显示装置的像素对应,多个有机TFT元件矩阵状排列构成回路。在此,栅极线G、信号线S的短路或断线,或者,由于有机半导体薄膜的不良而产生缺陷的情况下,对应...
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