用于在测试设备中传输信号的同轴结构的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11161494

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本说明书整体涉及用于在测试设备或其他电子器件中传输信号的同轴结构。背景技术晶片级测试包括测试晶片上的晶粒。在本说明书中,“晶粒”一词涵盖单复数意义的“晶粒”。晶粒易碎,因此优选地在测试期间接触任何晶粒不超过一次。然而,由于晶粒通常在圆形晶片上被图案化,因此测试任何一组晶粒可能涉及接触若干晶粒不止一次。此外,接触晶粒的装置可能必须部分地离(移)开晶片以便接触到所有晶粒。一定数量的测试电路需要具有良好的电通路(例如,低损耗、低电感和低串扰)来测试晶粒。该电路中通常针对每个被测试的晶粒占据测试板的几平...
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