技术编号：11161498
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对半导体晶圆等进行收纳的载具的搬运。背景技术为了增加半导体处理装置的运转率，要求在其装载区(loadport)的附近设置临时保管装置(缓冲区)。对于此，申请人在专利文献1(JP2012-111635)中提出了如下方案：与桥式行驶车(OHT：OverheadHoistTransport)的行驶轨道平行地并且在其下方设置区间台车的行驶轨道。而且，若将区间台车和桥式行驶车双方能够进行移载的缓冲区设置于区间台车的行驶轨道的下方且设置于装载区的正上方以外的部分，则例如能够设置四个缓冲区。在缓冲区...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。