技术编号：11161504
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及平板显示器的制造。更具体地，本公开涉及配置为通过使用来自一个或多个光纤激光器的激光光束对非晶硅背板进行可控退火来提供基本均匀的多晶结构的基于光纤激光器的方法和系统。背景技术平板显示器(FPD)制造环境是世界上最具竞争且技术最复杂的。设备设计者和制造商不断努力满足全球消费者对于分辨率更高、更亮、更大的显示器以及具有低功耗和更快视频能力的手机、PDA和其他紧凑型产品的需求，所有这些都比上一代技术更加昂贵。薄膜晶体管(TFT)技术是FPD的基础，FPD可以是高分辨率、高性能液晶显示器(LCD...
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