技术编号:11166591
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及例如利用于锂离子电池的电极材料、食品包装的薄膜材料等涂层材料、或者电子设备布线等使用的墨水原料等的、微粒子制造装置以及微粒子制造方法。背景技术近年来,探讨将纳米等级的微粒子应用于各种器件的情形。例如,镍的金属微粒子当前被使用于陶瓷电容器,对于下一代的陶瓷电容器,探讨了粒径为200纳米以下且分散性良好的微粒子的使用。进而,含氧率比二氧化硅低的一氧化硅(SiOx∶x=1~1.6)的微粒子被有效用作光学镜头的防反射膜或者食品包装用的气体阻挡薄膜的蒸镀材料。最近,期待向锂离子二次电池的负极材料...
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