晶片清洗机的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11167764

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本实用新型属于晶片清洗的技术领域,特别涉及一种晶片清洗机。背景技术石英晶体谐振器中的晶片,是制成石英晶体谐振元件的主体,石英晶体经切割定向、粗中细磨等加工后成为石英片,其被粘污的物质有油脂、蜡、研磨粉、研磨盘的金属粒子等,为了去除这些污物,必须进行清洗,以使腐蚀均匀、银层牢固,减小谐振电阻、降低老化率。由此晶片表面的清洁度程度是衡量产品能否在集成电路板上长期可靠工作的重要环节。由于酸性溶剂可以有效去除晶片表面在加工中附着的油脂、蜡、金属颗粒类粘污物质,现传统晶片清洗工艺多使用以酸性溶剂为主的清洗...
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