技术编号：11175142
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于以白色共焦点方式可对测量对象的表面形状等进行测量的光学测量装置。背景技术作为检测测量对象的表面形状等的装置，已知白色共焦点方式的光学测量装置。这种光学测量装置包括：产生具有多个波长成分的照射光的光源；使从光源发出的照射光产生轴向色差的光学系统；将由光学系统接收的反射光分离成各波长成分，并接收各波长成分的光的光接收部；将光源、光接收部和所述光学系统光学连接的导光部。例如，特开2012-208102号公报记载了一种利用共焦点光学系统以非接触的方式对测量对象的位移进行测量的共焦点测量装置。现...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。