技术编号：11178768
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种物体分析的探测仪器，尤其是一种触探式扫描装置。背景技术扫描式探针显微镜是利用探针探触材料的纳米表面的仪器，是扫描隧道显微镜及在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的各种新型探针显微镜的统称，是国际上近年发展起来的表面分析仪器。专利号为CN03156917.X的中国专利文献公开了一种扫描探针显微镜，包括带针尖的微悬臂，微悬臂与振荡装置固定连接。针尖位于微悬臂的一端，振荡装置位于微悬臂的另一端。振荡装置包括压电陶瓷晶体，和对该压电陶瓷晶体的振荡频率及振幅进行控制的振荡频率控制器，微悬臂固...
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