技术编号:11179241
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及朝向利用聚焦离子束形成的样品的包含特定观察对象物的特定部位照射电子束来取得剖面像来构筑特定观察对象物的三维立体像的剖面加工观察方法、剖面加工观察装置。背景技术例如,作为对半导体器件等样品的内部构造进行解析或者进行立体的观察的手法之一,已知有如下剖面加工观察方法(例如,专利文献1):使用装载有聚焦离子束(FocusedIonBeam;FIB)镜筒和电子束(ElectronBeam;EB)镜筒的复合带电粒子束装置,重复进行利用FIB的剖面形成加工和利用EB扫描其剖面的扫描型电子显微镜(Sc...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。