技术编号:11180436
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及镀膜技术领域,尤其涉及一种霍尔离子源防打火盖筒。背景技术霍尔离子源的工作原理是阴极灯丝通电后发热发光,产生热电子,热电子在阳极正电压的拉动下向阳极运动,在运动过程中遇到磁场,在磁场的洛仑兹力作用下,电子作螺旋式运动,运动过程中与导气铁芯中出来的O2或Ar分子进行碰撞产生O+或Ar+离子,O+或Ar+离子在阳极正电压的排斥推动下往上方移动,这些正离子在通过阴极灯丝边上时又遇到热电子,结果正离子被中和,但依旧保留了原先的动能继续往上方运动,一直到达离子源上方工件架的镀膜基片表面,对表面...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。