技术编号:11180457
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池板检测设备技术领域,具体为一种使用方便的刻蚀漏刻监测装置。背景技术在太阳能电池的生产过程中,去除硅片四周P-N结是刻蚀工序的主要目的。但刻蚀工序目前没有直接简便的测量方法判断硅片是否漏刻,目前主要通过测试减薄量以及下料处的检测装置来监测漏刻,但有些漏刻通过减薄量是不能判断出来的。下料监测对外观没有明显异常的漏刻是不能判断的,尤其安装水膜后通过外观来判断更加困难,会造成批量漏刻下传,大量硅片失效,对生产厂商形成一定的经济损失。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种使用方便...
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