技术编号：11180481
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种基板移送装置及包括其的基板处理系统，更为具体地涉及一种基板移送装置及包括其的基板处理系统，所述基板移送装置在基板以悬浮的状态移动的期间，能够使得基板的悬浮高度及悬浮姿势保持平坦。背景技术在制造LCD等平板显示器的工艺中，伴随着在由玻璃等制作的被处理基板的表面涂覆抗蚀剂液等药液的涂布(coating)工艺。在LCD的尺寸小的现有技术中使用了旋转涂布方法，所述旋转涂布方法在被处理基板的中央部涂覆药液的同时，使得被处理基板旋转，据此将药液涂覆于被处理基板的表面。但是，随着LCD画面的...
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