技术编号:11181797
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域,具体涉及一种刻蚀机的防静电结构。背景技术光伏发电是利用太阳光能使半导体电子器件有效地吸收太阳光辐射能,并使之转变成电能的直接发电方式,是当今太阳光发电的主流。当前,人们通常所说太阳光发电就是太阳能光伏发电,亦称太阳能电池发电,其核心部件是太阳能电池片。在太阳能电池的制备过程中,仪器设备、材料操作者都很容易因摩擦而产生几千伏的静电电压。当器件与这些带电体接触时,带电体就会通过器件引出脚放电,导致器件失效。静电放电损伤不仅对MOS器件很敏感,而且在双极器件中同样...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。