技术编号:11190940
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种石英冶炼技术,尤其是一种石英玻璃锭的制备方法,具体地说是一种电熔法生产半导体技术用大尺寸石英玻璃锭的方法。背景技术现有技术中半导体技术用石英玻璃锭生产方法是首先利用氢氧焰熔炉生产出长条圆柱状的石英玻璃锭,再将此细长石英锭经电熔炉槽沉工艺二次熔融成形为大直径圆柱状石英玻璃锭最大直径约1500mm,高度约150mm。现有技术生产的石英玻璃锭存在生产周期长、尺寸较小、生产成本高等问题,不利于能源资源的节约与保护。发明内容本发明的目的是针对现有技术生产的石英玻璃锭存在生产周期长、尺寸较小、...
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