技术编号：11195290
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。低温泵、低温泵控制装置及低温泵控制方法本申请主张基于2016年3月22日申请的日本专利申请第2016-057050号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。技术领域本发明涉及一种低温泵、低温泵控制装置及低温泵控制方法。背景技术在现场安装了新的低温泵时，低温泵从室温冷却至超低温，并开始真空排气运行。并且，众所周知，由于低温泵是气体捕集式真空泵，因此为了向外部排出蓄积的气体，需要以一定频率进行再生。再生处理通常包括升温工序、排出工序以及冷却工序。若冷却工序结束，则重新开始低温泵的真空...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。