技术编号：11196672
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及液晶显示技术领域，尤其是涉及一种光学膜厚监控装置及监控方法。背景技术显示屏中的彩膜基板一般通过将黑色矩阵(BM)、红色(R)光阻材料、绿色(R)光阻材料、蓝色(B)光阻材料、保护膜及间隔物涂布于涂布基板上，经过曝光、显影和烘干后形成。R光阻材料、G光阻材料和B光阻材料经过曝光、显影及烘干后分别形成R光阻、G光阻及B光阻。由于高精细和超薄化是当今显示屏技术的发展趋势，而超薄化要求对光阻的膜厚进行严格的管控。但在机台量产的过程中无法对膜厚进行监控，当出现断膜/膜厚不均等涂布异常时，无法及时...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。