面向MEMS湍流探测的共模抑制振动补偿传感器结构的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11196744

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本发明涉及海洋湍流探测技术领域,具体是一种面向MEMS湍流探测的共模抑制振动补偿传感器结构。背景技术海洋内部运动能量传递过程一般是由大尺度到小尺度、最终以微结构湍流的形式耗散。研究湍流能量耗散过程是建立完善海洋宏观运动物理模型、了解海洋内部混合的基础。此外,微结构湍流还对海水运动速度、温盐特性及水中溶解态、颗粒态物质的分布有显著的影响,因此,海洋微结构湍流对于认识海洋内部变化规律具有重要意义,其中也包含着对海洋湍流的精准探测。由于在测量时测量平台的振动对海洋湍流探测干扰极大,近年来,很多研究者就...
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