技术编号：11197655
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及了一种加速度测量系统与方法，特别涉及了一种基于双波长干涉的大量程高精度加速度测量系统与测量方法。背景技术常见的加速度测量系统可以包含机械加速度敏感系统和位移测量系统，机械加速度敏感系统将外界输入加速度转化为位移量，位移测量系统测量该位移量从而获得输入加速度的大小。基于光学干涉的加速度计由于有着很高的位移测量精度因此被证明拥有很高的加速度测量精度，比如基于衍射光栅的微光学加速度计(N.C.Loh,M.A.Schmidt,andS.R.Manalis,“Sub-10cm3interfero...
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