技术编号：11198062
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于周期性微结构制备技术领域，特别是一种工艺和设备要求低、制造成本低的多倍频沟槽型周期栅阵制备方法。背景技术周期栅阵是一种制作在电子或光学器件基片表面周期微结构，其中一种形式为在基片表面周期排列的若干平行下凹沟槽的组合。沟槽型周期栅阵广泛应用于微电子器件和光学器件中，如声表面波器件中的叉指换能器、反射阵、多条耦合器等，光学器件中的反射光栅、衍射光栅等。沟槽周期栅阵的常规制作方法包括光刻、刻蚀等。在声表面波器件的应用中，随着声表面波器件工作频率的不断提高，其所包含的周期栅阵的栅频率也随之不断...
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