具有中介结构的指纹感测装置的制造方法技术资料下载

技术编号:11204787

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本发明涉及指纹感测装置。具体地,本发明涉及包括用于增强感测装置性能的中介结构的指纹感测装置,以及涉及制造包括这样的中介结构的指纹传感器的方法。背景技术由于用于身份验证的生物特征装置(并且特别是指纹感测装置)的发展已导致产生被制成更小、更便宜且更具能效的装置,所以这样的装置的可能应用在日益增加。特别地,指纹感测由于小型化因素、相对有利的成本/性能因素以及高的用户接受度而已经被越来越多地用于例如消费电子装置。基于用于提供指纹感测元件和辅助逻辑电路的CMOS技术构建的电容式指纹感测装置正日益普及,因为...
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