技术编号:11205301
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及低温等离子体发生器,更具体地,涉及一种螺旋沿面型结构的低温等离子体发生器。背景技术等离子体产生的手段很多,可用紫外辐射、X射线、电磁场、加热等方法。实验室和工业产品大都采用电磁场激发等离子体,如直流辉光放电、射频放电、微波放电和介质阻挡放电(DBD)等。其中,DBD是一种将绝缘介质插入放电空间的气体放电形式,介质可以覆盖在电极上。当在放电电极间施加一定频率(50MHz至几兆赫兹)的足够高的交流电压时,电极间的气体就会被击穿产生介质阻挡气体放电。DBD设备目前主要有基本两种方式产生低温等...
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