利用混合多芯片集成的光收发器的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11210222

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本公开涉及光电集成,更具体地,涉及基于使用低成本扇出晶片级封装(FOWLP)架构和模制通孔(through-moldvia)(TMV)技术的管芯上封装多芯片堆叠集成的紧凑型光收发器。背景技术随着科学技术的快速更新,计算机的处理速度和容量相应地增加。为了缩短在电子装置之间(例如,从LD驱动器/TIA到数字信号处理器DSP)或者在电子(驱动器/TIA)和光子(例如,CDR和PAM4ASIC)之间的常规引线接合的互连长度,人们已经开始在Si光子管芯中使用硅通孔(TSV)工艺来替代引线接合并且进行互连。...
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