技术编号：11212459
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种退膜方法及退膜设备，尤其是一种类金刚石薄膜物理退膜方法及退膜设备。背景技术常规类金刚石（DLC）薄膜，其功能层主要以碳元素为主，并含有少量的氢元素，微观结构含有碳的SP2，SP3键，兼顾了金刚石和石墨两种结构，宏观上表现出的性能既继承了金刚石相对比较稳定的化学性能，材质坚硬的物理性能；又包含了石墨表面具有自润滑性的物理特性，因而在众多有耐磨、硬度要求的零件上得到广泛应用。因此，从这两方面的角度来看，一旦工件上涂覆了DLC薄膜，是很难通过后道工序的机械打磨或者抛光的方式得到有效去除，...
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