技术编号：11212467
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及圆筒型溅射靶及其制造方法。尤其是，本发明涉及构成圆筒型溅射靶的圆筒型烧结体的制造方法。背景技术近年来，平板显示器(FPD：FlatPanelDisplay)、太阳能电池的制造技术发展迅速，大型化不断推进。并且，随着这些市场的扩大，大型玻璃基板的需求不断增加。尤其是，在大型的玻璃基板上形成金属薄膜或金属氧化物薄膜的溅射装置中，正逐渐使用圆筒型(也称为旋转型或回转型)溅射靶来替代以往的平板型溅射靶。与平板型溅射靶相比，圆筒型溅射靶具有靶的使用效率高、腐蚀的发生少，以及因沉淀物的剥离而产生的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。