技术编号:11212471
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及石墨烯薄膜生产设备技术领域,特别涉及一种连续式薄膜生产设备。背景技术石墨烯是优秀的新型功能材料,广泛应用于太阳能电池、传感器、微电子、柔性显示、能量存储等领域,目前主要以CVD法进行生产,所用的生产设备有静态断续式、加热器在石英管工作腔外的卷对卷连续式、生长辊轮在加热区内的卷对卷连续式等。静态断续式生产设备,生产效率低、设备成本高。加热器在石英管工作腔外的卷对卷连续式生产设备中,加热器距离石墨烯生长箔带较远,加热效率低且操作复杂。生长辊轮在加热区内的卷对卷连续式生产设备中,生长辊轮处于...
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