技术编号：11213285
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。干式真空泵装置和真空排气系统本申请是申请日为2013年9月30日、申请号为201310460434.5、发明名称为“干式真空泵装置和在该干式真空泵所使用的控制装置”的发明专利申请的分案申请。技术领域本发明涉及干式真空泵装置和在该干式真空泵所使用的控制装置。背景技术通常而言，干式真空泵装置具有干式真空泵、驱动干式真空泵的马达、控制马达转速(旋转频率)的逆变器、和控制逆变器动作的控制装置。干式真空泵有时为了将半导体制造装置的真空室内的气体排出而使用，但根据气体种类不同有时因化学反应而生成生成物(反应...
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