技术编号：11214192
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。具有射频供电的法拉第屏蔽件的包括线圈的衬底处理系统相关申请的交叉引用本申请要求于2016年3月28日提交的美国临时申请No.62/314,059的权益。上述申请的全部公开内容通过引用并入本文。技术领域本公开涉及衬底处理系统，更具体地涉及具有射频(RF)供电的法拉第屏蔽件的包括线圈的衬底处理系统。背景技术这里提供的背景描述是为了一般地呈现本公开的上下文的目的。在该背景技术部分中描述的程度上的目前提名的发明人的工作和在申请时可能无资格另外作为现有技术的描述的方面既未清楚地，也未隐含地被承认作为针对本...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。