技术编号：11214198
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及硅微陀螺仪技术领域，具体是一种硅微陀螺仪差分电容检测电路。背景技术硅微机械陀螺仪是MEMS技术在惯性导航领域的重要应用之一，它利用哥氏效应原理来测量敏感轴的输入角速率。相较于传统陀螺仪，它具有体积小、重量轻、成本低、可批量生产、易于集成等优点，微惯性器件的这些特点使得它具有更宽广的应用范围，不仅可以用在汽车工程、移动通信、大地测量、地质勘探、微型卫星、运动器材等民用领域，还可以应用在军事领域上，包括制导炸弹、无人驾驶机智能炸弹等。硅微陀螺仪的驱动模态利用在电容的两极板上施加交流电压，产...
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