技术编号:11214327
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开的实施例涉及一种薄膜晶体管及其制备方法、显示基板及其制备方法、以及显示装置。背景技术通常,显示基板包括排列成矩阵的多个像素单元,每个像素单元包括显示电极和对显示电极进行驱动的薄膜晶体管。薄膜晶体管包括栅极、有源层、源电极和漏电极,有源层包括沟道区和分别位于沟道区两侧的源极区和漏极区。例如,源极区和漏极区为重掺杂区。为了减小薄膜晶体管的漏电流,例如可以在源极区与沟道区之间以及漏极区与沟道区之间设置轻掺杂区。然而,目前制作轻掺杂区的工艺太过复杂,有些生产者为了节省成本甚至不制作轻掺杂区。发明内...
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