技术编号:11214724
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及二维材料和电化学传感器件制造技术领域,特别涉及微波退火工艺。背景技术过去的几十年里,基于场效应晶体管的生物传感器,将化学信号转换为电信号测量,具有非标记,快速响应,低功耗,便携,利用微电子制造工艺实现低成本、大规模集成等优点,在生物,医学,工业制造,环境检测等领域得到了广泛的研究和应用。场效应晶体管的沟道材料通常有三维的体硅,二维的石墨烯、过渡金属硫化物、黑磷,一维纳米结构的碳纳米管,硅基纳米线等。其中二维材料相比三维材料,由于平面结构有优异的静电特性,又比一维材料更加稳定,易于制造,...
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