技术编号：11214889
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及扫描型探针显微镜及其探针接触检测方法。背景技术目前公知以下这样的扫描型探针显微镜，在恒定地保持在悬臂的前端形成的探针与试样间的相互作用(例如，悬臂的振幅或悬臂的挠曲)的同时，在试样表面使探针连续地进行扫描，由此来测定试样表面的凸凹形状(参照专利文献1)。但是，在专利文献1所记载的扫描型探针显微镜中，因为探针与试样始终相接，所以有可能发生探针的磨损或试样的损伤。与此相对，在专利文献2、3中提出了以下这样的间歇性测定方法，仅在预先设定的多个试样表面的测定点使探针与试样表面接触并间歇地扫描试...
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