技术编号：11215196
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光电领域，尤其涉及一种可集成的无定型硅波导结构及其制作方法。背景技术随着集成电路电子器件时钟频率的不断提高和集成密度的大幅上升，使用传统电子连接的芯片间及芯片上集成的解决方案遇到了过大的能耗和带宽限制的问题。在～130nm技术条件下，大概一半的微处理器功耗都损耗在了电子线路连接上。而且，在IC系统中，连接不同功能部分并传输信号的总线的时钟频率远远低于各个电子器件的时钟频率。在这种情况下，电子线路而非单个器件的连接成为了限制系统速度的瓶颈。为了解决电子线路连接的问题，光学连接被认为一种很...
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