电光装置、电光装置的制造方法以及电子设备与流程技术资料下载

技术编号:11215260

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本发明涉及具备反射镜的电光装置、电光装置的制造方法以及电子设备。背景技术作为电子设备,例如公开有下述的投射式显示装置等,其通过被称为DMD(数字微镜器件)的电光装置的多个反射镜(微镜)调制从光源射出的光之后,通过投射光学系统放大投射调制光,从而在屏幕显示图像。用于这样的投射式显示装置等中的电光装置例如具有形成有反射镜以及驱动反射镜的驱动元件的芯片、俯视观察时覆盖反射镜的透光性的罩盖以及位于罩盖与芯片之间的隔离片。在电光装置中,如果水分进入配置有反射镜的空间内,则反射镜会以倾斜的姿势被附着在反射镜...
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