技术编号：11215424
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。照明光学单元本申请是申请日为2012年5月16日、申请号为201280025144.1、发明名称为“照明光学单元”的发明专利申请的分案申请。相关申请的交叉引用通过引用，将德国专利申请DE102011076297.3和US61/488901的内容并入本文。技术领域本发明涉及一种包括光阑的照明光学单元以及照明系统。此外，本发明涉及一种包括该类型的照明系统的EUV投射曝光设备、一种用于制造微结构或纳米结构部件的方法以及一种由该方法制造的部件。背景技术已知曝光设备的光学质量可通过适合地布置一个或多个光阑...
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